ナノシリコン陽極酸化技術 "e-COOL"
受託製造・受託開発
バイオ・メディカル応用 デジタル音圧源・音響／熱応用 電子ビーム応用
発光シリコン 太陽電池・半導体プロセス応用 新用途開発
ナノシリコン陽極酸化技術 "e-COOL"

e-COOL

electro-Chemical Oxidation Originated Liquescent


HF(弗酸)溶液中での制御された陽極酸化により、シリコン結晶の多様な加工が可能になります。
この古くて新しい電気化学的加工プラットフォームをカンタム14では、e-COOL と名付けました。

20年以上にわたって研究開発してきた東京農工大・越田研究室のナノスケール結晶シリコン加工と、 デバイス製作に関する蓄積ノウハウと特許が当社のコア技術です。

技術シーズ：陽極酸化利用する加工モード
技術シーズ:陽極酸化 局所電解研磨

・シリコンインゴットの切断(スライス)技術

⇒半導体・太陽電池用シリコン加工
サブミクロンピット・マイクロポア

・自己組織的加工技術

ナノからマイクロサイズの自己組織的構造を利用
⇒DNAチップ・細胞培養基板
⇒ナノインプリント技術

・熱／音響特性応用技術

高断熱性を生かした小型集積反応器
超音波発生
⇒コンビナトリアル化学リアクタ
⇒超音波源応用
ナノシリコン化・量子効果

・研究開発用材料／素子

ナノシリコンの量子効果利用
⇒電子源
⇒発光シリコン


ナノシリコン作成用陽極酸化装置

自己組織的、並列的に形成される構造と、多くの形成パラメータの関係を10年以上にわたって調べた越田研究室の蓄積ノウハウと特許が当社の基幹技術です。

東京農工大・越田研究室に設置された陽極酸化装置・電気分解層

 東京農工大・越田研究室に設置された陽極酸化装置
東京農工大・越田研究室に設置された陽極酸化装置
ナノシリコンの加工例

[ナノシリコン基材　表面構造例]

ナノシリコン基材　表面構造例

[ナノシリコン基材 断面構造例]

ナノサイズドットからなる
ナノシリコン基材のTEM写真		 ナノシリコン基材
断面構造例		 平均的孔径0.1μmの試料
ナノサイズドットからなるナノシリコン基材のTEM写真 ナノシリコン基材断面構造例 平均的孔径0.1μmの試料

[平均的孔径2μmの試料]


ナノシリコン陽極酸化技術 "e-COOL"
受託製造・受託開発
バイオ・メディカル応用 デジタル音圧源・音響／熱応用 電子ビーム応用
発光シリコン 太陽電池・半導体プロセス応用 新用途開発

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